產(chǎn)品特點(diǎn)：性價(jià)比高、響應(yīng)速度快、可靠性高，易于集成、環(huán)路保護(hù)、備總量計(jì)數(shù)器
　　典型應(yīng)用：CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。
　　設(shè)計(jì)特點(diǎn)：
　?。瓌傂越饘俳Y(jié)構(gòu)
　?。鞒谭秶鷱?開始到10sccm直到0到1000slpm
　?。?大壓力500psig（34.5Bar）
　　－泄漏率1＊10-7氦氣
　　－NIST系統(tǒng)標(biāo)定可追蹤的證明
　?。蓛A斜的LCD讀表
　?。?-5Vdc或4-20mA信號輸出
　　－電路保護(hù)
　?。捎米鞅銛y式的設(shè)備
　?。?到100比例顯示
　　－可配備流量計(jì)算機(jī)
　　精度：±1.5％滿量程，包括59℉到77℉的氣體溫度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的壓力。可選±1％滿量程（標(biāo)定精度），在給定的溫度與壓力值條件下。
　　重復(fù)性：±0.5％滿量程
　　回應(yīng)時(shí)間：實(shí)際流速±2％超過滿量程25-100一般2秒
　　溫度系數(shù)：0.15％滿量程／℃
　　壓力系數(shù)：0.01％滿量程／psi（0.07bar）
　　氣體／周圍溫度：32℉-122℉（5℃-50℃）
　　輸出信號：0-5Vdc，*小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻
　　傳感器輸出：＋12Vdc；*大200Ω。＋24Vdc可選
　　時(shí)間恒量：800ms